研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2017/08/30
発表テーマ	半導体ウエハのロータリ研削における研削抵抗に関する研究
発表学会名	砥粒加工学会学術講演会ABTEC2017
主催者	砥粒加工学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	単独
開催地名	福岡工業大学
概要	Si，サファイアならびにSiCなどの半導体デバイス基板材料の品質向上や安定供給を可能とする加工システムの開発は世界的に重要な課題である．しかし，ロータリ研削における研削抵抗の測定方法は確立されておらず，二分力比に関する研究はなされていない．そこで，接線または法線研削抵抗が明らかになれば，他方も明らかにすることができる二分力比を単粒ダイヤモンド工具によって明らかにした．