研究者情報 | 神奈川大学

ミズノ　トモヒサ Mizuno Tomohisa 水野　智久所属神奈川大学理学部理学科神奈川大学大学院理学研究科理学専攻（物理学領域）職種教授
発表年月日	2017/09/21
発表テーマ	Hot-C+-Ion Implantation Optimization for Forming Nano-SiC Region at Surface (100)SOI Substrate
発表学会名	International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
主催者	JSAP
学会区分	国際学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	Sendai
発表者・共同発表者	T. Mizuno, Y. Omata, S. Nakada, T. Aoki, T. Sasaki