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ミズノ トモヒサ
Mizuno Tomohisa 水野 智久 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 教授 |
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発表年月日 | 2017/09/06 |
発表テーマ | (100)SOI基板表層でのナノ構造SiC形成用ホットC+イオン注入法の最適化 |
発表学会名 | 2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会 |
主催者 | 応用物理学会 |
学会区分 | 全国学会 |
発表形式 | 口頭(一般) |
単独共同区分 | 共同 |
開催地名 | 福岡 |
発表者・共同発表者 | 小又 祐介、青木 孝、佐々木 智一、水野 智久 |