クスヤマ ジュンペイ   Kusuyama Jumpei
  楠山 純平
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
   職種   助教
発表年月日 2021/09/01
発表テーマ SiCウェーハのロータリ研削における加工特性
発表学会名 2021年度砥粒加工学会学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 楠山純平,中尾陽一,川瀬美真,金澤雅喜,石川一政,余語政輝