クスヤマ ジュンペイ
Kusuyama Jumpei
楠山 純平
所属
神奈川大学 工学部 機械工学科
職種
助教
発表年月日
2015/08
発表テーマ
φ450mmシリコンウエハ加工用研削盤のループ剛性
発表学会名
2015年度砥粒加工学会学術講演会
学会区分
全国学会
発表形式
口頭(一般)
単独共同区分
共同
発表者・共同発表者
楠山純平,岩橋伸太郎,北嶋孝之,小笠原永久,由井明紀,齋藤浩嗣,A. H. Slocum
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