クスヤマ ジュンペイ   Kusuyama Jumpei
  楠山 純平
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
   職種   助教
発表年月日 2015/08
発表テーマ φ450mmシリコンウエハ加工用研削盤のループ剛性
発表学会名 2015年度砥粒加工学会学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 楠山純平,岩橋伸太郎,北嶋孝之,小笠原永久,由井明紀,齋藤浩嗣,A. H. Slocum