研究者情報 | 神奈川大学

ホシノ　ヤスシ Hoshino Yasushi 星野　靖所属神奈川大学理学部理学科神奈川大学大学院理学研究科理学専攻（物理学領域）職種准教授
発表年月日	2018/12/08
発表テーマ	Sputtering yield of thin Si(100) film impinged by monoatomic and diatomic nitrogen ions
発表学会名	第１９回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会
学会区分	研究会・シンポジウム等
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	京都大学
発表者・共同発表者	Yasushi Hoshino and Gosuke Yachida