ホシノ ヤスシ   Hoshino Yasushi
  星野 靖
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   准教授
発表年月日 2020/09/08
発表テーマ RBS 法による膜厚測定から求めた高エネルギータングステンの自己スパッタリング収率の測定
発表学会名 2020年 第81回応用物理学会秋季学術講演会
主催者 応用物理学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
開催地名 オンライン開催
発表者・共同発表者 中川 創平,星野 靖,加藤 太治, 間嶋 拓也,斉藤 学,土田 秀次