ユイ アキノリ   Yui Akinori
  由井 明紀
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
    神奈川大学大学院  工学研究科 工学専攻(機械工学領域)
   職種   教授
発表年月日 2016/08/31
発表テーマ SiCウエハのロータリ研削における延性・脆性モードに関する研究
発表学会名 砥粒加工学会学術講演会ABTEC2016
主催者 砥粒加工学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 単独
開催地名 兵庫県, 姫路市
概要 SiCウエハのロータリ研削における延性・脆性モードに関する研究