研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2014/11/15
発表テーマ	450mm大口径ウエハ研削盤の開発－切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性－
発表学会名	第10回生産加工・工作機械部門講演会
主催者	日本機械学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	徳島県，徳島市
概要	ウエハ加工用の水静圧軸受を有する切込み機構内蔵砥石スピンドルの設計，組み立てを行い，静剛性と切込み送り精度そして回転精度について評価した．本スピンドルは，内蔵する磁気アクチュエータにより1.4mmのストローク範囲でスラスト方向に切込みを与えることができる．静剛性の測定値は1.06kN/μmであった．