研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2013/08/27
発表テーマ	450mm大口径ウエハ研削盤の開発－水静圧ロータリーテーブルの基本特性－
発表学会名	砥粒加工学会学術講演会ABTEC2013
主催者	砥粒加工学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	東京都、千代田区
概要	450mm大口径ウェハ研削盤を設計・試作し，定流量水静圧ワークテーブルについて軸受けすきま，静剛性，モーメント剛性，回転精度の測定値およびテーブルの回転と軸受けすきまの関係を調べた結果，スラスト方向静剛性は，ポンプ流量が小さいほど高くなること，モーメント剛性はポンプ流量30mL/minにおいて55N・m/″，回転精度はポンプ流量20mL/min，回転数30rpmにおいて0.09μmであることが分かった．また，テーブル回転数が軸受けすきまにおよぼす影響はほとんど無いことも確認できた．