研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2012/10/27
発表テーマ	450mm大口径ウエハ研削盤の開発-第2報　研削盤仕様と基本性能
発表学会名	日本機械学会　第9回生産加工・工作機械部門講演会
主催者	日本機械学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	秋田県, 由利本荘市
概要	大口径450mmウエハ研削盤の水静圧テーブルを設計するために，ANSYS FLUENTを用いて軸受パッド周辺の流体数値解析を行い，軸受隙間と各軸受パッドの支持力を算出した．この結果を基に，テーブルの負荷容量と静剛性を予測し，測定結果と比較し，ほぼ一致を見た．