研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2017/08/30
発表テーマ	サファイアウエハのロータリ研削における砥石揺動効果に関する研究
発表学会名	砥粒加工学会学術講演会ABTEC2017
主催者	砥粒加工学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	福岡工業大学
概要	筆者らのグループが開発した，大口径ウエハ加工用高剛性ロータリ研削盤に搭載された切込機構内蔵砥石スピンドルを改造し，砥石を軸方向への揺動を可能とした．本研究では，サファイアウエハのロータリ研削において，砥石を揺動させてインフィード平面研削を行い，正味加工時間の短縮と砥石軸消費電力の低減効果を確認した．