ユイ アキノリ   Yui Akinori
  由井 明紀
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
    神奈川大学大学院  工学研究科 工学専攻(機械工学領域)
   職種   教授
発表年月日 2017/08/30
発表テーマ ダイヤモンド工具によるSiC ウエハのナノ加工に関する研究
発表学会名 砥粒加工学会学術講演会ABTEC2017
主催者 砥粒加工学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 単独
開催地名 福岡工業大学
概要 近年,非球面多焦点レンズ,フレネルレンズ,液晶パネル用導光板など光学部品の高機能化・大量消費化に伴い,これらの製造に必要不可欠な金型の高精度化,高精細化,長寿命化が望まれている.本研究では,耐熱性,耐食性,熱伝導特性に特に優れた単結晶SiC材料の金型への適用を目標に,ナノ加工に関する研究を行った.