ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 数理・物理学科
   職種   教授
発表年月日 2018/03/19
発表テーマ バルクSi基板へのホットC+注入法によるSiCナノドット形成 (III):Cドーズ量依存性
発表学会名 第65回応用物理学会春季学術講演会
主催者 応用物理学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
開催地名 早稲田大学
発表者・共同発表者 入江翔, 山本将輝, 中田真史,小又祐介,青木孝,鮫島俊之,水野智久