ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 数理・物理学科
   職種   教授
発表年月日 2019/06/10
発表テーマ Si Surface Orientation Dependence of SiC Nano-Dot Formation in Hot-C+-Ion Implanted Bulk-Si Substrate
発表学会名 Silicon Nanoelectronics Workshop
主催者 IEEE
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
開催地名 kyoto
発表者・共同発表者 T. Mizuno, M. Yamamoto, T. Aoki, T. Sameshima