ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   教授
発表年月日 2021/03/19
発表テーマ Si酸化膜中へのホットダブルSi⁺/C⁺イオン注入法によるSiC量子ドット形成:Si+ドーズ量依存性
発表学会名 第68回応用物理学会春季学術講演会
主催者 応用物理学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 村川 洸紀,金澤 力斗,青木 孝,鮫島 俊之,水野 智久