ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   教授
発表年月日 2017/09/21
発表テーマ Hot-C+-Ion Implantation Optimization for Forming Nano-SiC Region at Surface (100)SOI Substrate
発表学会名 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
主催者 JSAP
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
開催地名 Sendai
発表者・共同発表者 T. Mizuno, Y. Omata, S. Nakada, T. Aoki, T. Sasaki