ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 数理・物理学科
   職種   教授
発表年月日 2017/09/06
発表テーマ (100)SOI基板表層でのナノ構造SiC形成用ホットC+イオン注入法の最適化
発表学会名 2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会
主催者 応用物理学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
開催地名 福岡
発表者・共同発表者 小又 祐介、青木 孝、佐々木 智一、水野 智久