ヤマグチ カズオ   Yamaguchi Kazuo
  山口 和夫
   所属   神奈川大学  理学部 化学科
   職種   教授
発表年月日 1989/09
発表テーマ 耐プラズマ性に優れた高解像度電子線レジストについて
発表学会名 応用物理学会学術講演会第50回
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
概要 (口頭発表)広瀬信光、鵜沢佳徳、関根松夫、山口和夫。トリエトキシシリルプロピルメタクリレートとメチルメタクリレートとの共重合体をラジカル重合法により合成し、この共重合体を電子線レジストとして用い、その解像度、耐プラズマ性を調べた。