ヤマグチ カズオ   Yamaguchi Kazuo
  山口 和夫
   所属   神奈川大学  理学部 化学科
   職種   教授
発表年月日 1990/09
発表テーマ 耐プラズマ性に優れた電子線レジストを用いたNb薄膜の微細加工
発表学会名 第51回応用物理学会学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
概要 (口頭発表)広瀬信光、鵜沢佳徳、原田裕一、関根松男、尾崎裕之、平尾明、山口和夫、吉森茂、川村光男。PMMAの側鎖に一部アルコキシシリル基を導入したレジストを用いて、Nb薄膜の微細加工を行った。