ヤマグチ カズオ   Yamaguchi Kazuo
  山口 和夫
   所属   神奈川大学  理学部 化学科
   職種   教授
発表年月日 1991/03
発表テーマ 耐プラズマ性に優れた電子線レジスト(3)
発表学会名 第38回応用物理学関係連合講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
概要 (口頭発表)平瀬信光、鵜沢佳徳、原田裕一、関根松夫、尾崎裕之、平尾明、山口和夫、吉森茂、川村光男。ラジカルおよびアニオン重合法により合成したトリイソプロポキシシリルメタクリレートとメチルメタクリレートの共重合体を電子線レジストとして用い、その解像度、耐プラズマ性を調べた。