ヤマグチ カズオ   Yamaguchi Kazuo
  山口 和夫
   所属   神奈川大学  理学部 化学科
   職種   教授
発表年月日 1999/09
発表テーマ 光分解性の2-ニトロベンジルエステルおよびエーテルで保護したシランカップリング剤によるシリコンウェハ表面へのカルボキシル基およびヒドロキシル基の導入
発表学会名 第48回高分子討論会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
概要 (口頭発表)二見龍寛、北村信幸、片寄有希、北畑隆、山口和夫
表題シランカップリング剤でシリコンウェハを処理し、さらに光照射することにより、ウェハ表面へのカルボキシル基とヒドロキシル基の導入を行った。