ヤマグチ カズオ   Yamaguchi Kazuo
  山口 和夫
   所属   神奈川大学  理学部 化学科
   職種   教授
発表年月日 2000/12
発表テーマ Introduction of carboxy and hydroxy groups to the surface of silicon wafers by silane coupling agents bearing photodegradable 2-nitrobenzyl ether and ester
発表学会名 2000 環太平洋国際化学会議
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
概要 (口頭発表)二見龍寛、北村信幸、尾崎淳、山口和夫
光分解性の2-ニトロエンジルエステルを含むシランカップリング剤を用いてシリコンウェハの表面を修飾し、さらに光照射によりカルボキシ基へ変換した。