ヤマグチ カズオ   Yamaguchi Kazuo
  山口 和夫
   所属   神奈川大学  理学部 化学科
   職種   教授
発表年月日 2002/10
発表テーマ 2-ニトロベンジルエーテルを含むシランカップリング剤によるシリコンウェハ表面へのヒドロキシ基の導入と応用
発表学会名 第11回ポリマー材料フォーラム
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
概要 (口頭発表)尾崎淳、山口和夫。表題のシランカップリング剤を用いてシリコンウェハ表面を修飾し、続いて光照射によりヒドロキシ基への変換を行った。また、マスクを用いた光照射によりヒドロキシ基のパターンニングを行った。